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这样吧!
由于离子注入机的实际情况,物理研究所所占的比重最大,我现在就明确规定,物理研究所的王所长为这次研制任务的负责人。
还是采取事业部制度,王所长为事业部部长,在整个集团内,他有权调动任何人和材料。
任何人不得反对和阻扰,否则我会重处。”
然后他又用严厉的语气对王卫红说:“王所长,我已给你最大的权利了,我只要你赶快给我结果,你能做到吗?”
王卫红以及在场的除了光刻机研制组的人早就给老板的怒气给吓住了,老板又如此严厉的问他,他只能哆哆嗦嗦地回答道:“能……我能……老板,我一定能。”
最后一句,它既是给老板的回答又是给自己壮胆。
老板的气场太强大了,他一个没有什么资历的新任所长,有点扛不住啊!
……
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第110章:立场
离子注入机原理:
离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成,可以根据实际需要省去次要部位。
离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。
离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过碰撞使元素发生电离。
碰撞后除了原始电子外,还出现正电子和二次电子。
正离子进入质量分析器选出需要的离子,再经过加速器获得较高能量,由四级透镜聚焦后进入靶室,进行离子注入。
高能离子注入的优势:
多样性:原则上任何元素都可以作为注入离子;形成的结构可不受热力学参数(扩散、溶解度等)限制;
不改变:不改变工件的原有尺寸和粗糙度等;适合于各类精密零件生产的最后一道工序;
牢固性:注入离子直接和材料表面原子或分子结合,形成改性层,改性层和基底材料没有清晰的界面,结合牢靠,不存在脱落的现象;
不受限:注入过程在材料温度低于零下、高到几百上千度都可以进行;可对那些普通方法不能处理的材料进行表面强化,如塑料、回火温度低的钢材等;
应用:
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备,离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。
离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制,克服了常规工艺的限制,提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命,降低了成本和功耗。
离子注入机广泛用于掺杂工艺,可以满足浅结、低温和精确控制等要求,已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
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第111章:合同落实
第二天,曾局长又上门了。
这次他的心情很好,袁市长已经答应了对方的要求,他相信这次投资一定会落实了。
“早啊!
卢律师。”
一进门,曾局长就高兴地打了招呼。
“你也早,曾局长。”
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