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因此他有另外一套安置机构,就像机床的刀具换刀系统一样。
为了最大限度地节省空间,它是平行环绕在工作台的周围的,它能环绕转圈,能根据电脑的指令,将下块需要的掩模板输送到微型机械臂的面前。
原理和机床的数控换刀系统是差不多的。
为什么要把工作台设置的这么薄呢?就是为了减少上下移动所花费的时间,还有也减少了运动势能,这就相应的增加了上下移动的控制精度。
到了这时,如果仅仅从光刻机的角度看,长胜投资集团的芯片制程工艺已经超过了2017年的世界水平。
郭东他们设计的光刻机甚至能达到10纳米以内的制程工艺,当然激光头还需改进成为聚焦式激光头。
但是从纯机械的角度看,他们是真的达到了。
不过芯片制程是一个系统的工程,不是简单的机械精度就够了,其实最制约制程工艺的是化学蚀刻环节。
在以后的章节中我会祥细讲解。
在以往的工业文中,有作者提到浸润式激光技术,能翻倍提高蚀刻精度。
那是因为当时所处的时代,激光精度低所导致的,长胜投资集团所用的极深紫外光是2016年才研发的技术,激光精度一下子提高了几十倍,远远不是什么浸润式激光头技术所能比拟的。
光刻机研制成功了,郭东他们进行了多次实验,发现蚀刻精度非常高,已经完全达到或超过了要求。
洪涛甚至直言自家的技术已经远远超过了美国,他能这么说,是有道理的。
他是留美电子工程博士,他在美国见过光刻机实物。
也知道他们的芯片制程工艺级别。
虽然已经过了好多年,但他根据摩尔定律推测,自家的技术也远远超过了美国几个量级。
郭东他们第一时间将这个好消息报告给了沈丹青,沈丹青马上就来到了长胜精工。
他在现场认真听取了郭东他们的讲解,不住的满意的点头,就像小鸡啄米一样的勤快,完全没有意识到这样会不会伤脖子。
他太高兴了,光刻机直到2017年都是中国的一块短板,如今他们公司已经研制出来了,可以说已经为中国补上了短板,他能不高兴吗?这可不是钱所能做到的。
他想象未来中国每年几千亿美元的芯片进口额度没有了,那中国又是怎样的一个情况呢?画面太美,以致于他不敢再想象了。
他收拢心思、稳定了情绪就又问郭东道:“离子注入机研制得怎么样了?”
“对不起!
老板,我不知道?”
郭东被问得哑口无言,他的心思全用在研制光刻机上了,哪里知道另外一组的情况。
幸好这时卢汝成赶忙来补救,他急忙向老板说道:“老板,我们分组了,我们一门心思都在研制光刻机上了,一有了结果就马上报告给你了。
因此还不知道另外一组的情况。
请您恕罪。”
听到卢汝成的解说,沈丹青的脸色立刻多云转晴了,于是他微笑地对他们说:“是这样就怪不得你们了,两耳不闻窗外事,这是所有科研人员的通病嘛!
哈哈哈哈!
好啦!
你们这边解决了,我们去看看另外一组的情况吧!”
可是他的好心情没有持续多久,到了另外一组一了解,他们居然还在理论研究阶段,令他几乎是咆哮似的发怒了:“你们是怎么搞的?另外一组的光刻机已经研制成功了,甚至还附带研发了液晶屏蚀刻技术,你们居然还没有开始实验!
办事太拖沓了。
看来你们是没有一个好头,都各自为政,只顾得扯皮了。
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