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第37章(第3页)

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过了一个小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。

他见大家都注意到了自已就开始说道:“由于人数较多,就不一个个发言了,时间不允许。

我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”

他没等大家回答,组织了思路就开始说了:“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。

切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。

并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘,因为硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。

同理打磨托盘也要是真空吸盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。

上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在一起,否则会有互相沾染的危险。

最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤,这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。

因此必须把两台上胶机都布置在对面。

两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。

又因为各个步骤都要检测,因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。

我设想的大体系统架构就是这样,具体到每部机器再具体设计。

大家有什么补充的就说一下。”

说完他就坐到。

,将位置让了出来。

“咳咳”

卢汝成见其它人都不说,就咳嗽两声,开始发言:“我认为郭部长的设想已经非常完善了,我只补充一条,还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。

因为光刻机会进行多次光刻,那么就要进行多次的上胶去胶,因此,有必要设计一个单独的去胶室。”

说完这些他就不再说了,把时间让给别人了。

其实到了这一步已经非常完善了,大家没什么好补充的了。

因此一下子冷场了。

郭东见大家不再发言,就又站起来说:“既然大家不再补充啦!

那我们就散会吧!

吃饭时间到了,我们公司食堂的饭菜很好的,大家都知道的。

哦!

瞧我,范先生是客人不知道。

罪过罪过!”

说完他调皮的对范学东双手作揖。

“哈哈哈哈!”

大家又开心的大笑起来。

一个有能力的人,总是会想办法调节气氛。

而郭东就是这样的人。

未完待续……

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