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“当然有,并且还需要清洗两次,最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。
冲洗干净后,还要烘干。”
范学东又向他们科普了一番。
“啪啪啪!”
郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说:“好啦!
大家也了解的差不多了,我刚才仔细地思考了一下,发现问题还很复杂,远远不是老板所说的几台机器那么简单。”
说完,他就走到一张画图的办公桌边,拿了一张绘图纸和一支笔,先勾画了一个抽象的草图。
他指着图上的两个图案说:“我把整套设备规划成两部分,一部分是不需要的氩气环境下工作的,另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。
我先讲前一部分。”
说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图,他拿笔指着其中一个说:“我们首先要切断,因为是大物体切断所以不需要太精密,我设想就是一台机床就可以了,反正后续还有许多加工处理步骤。
不过要注意,在切断的时候要加防氧化油,把棒材的两个横载面涂抹油,目的是防止氧化。”
说完这些他就又用笔指着另外一个图案说:“切断之后就要把硅棒滚圆,使它符合硅晶圆基片的大小要求,并且保持整根棒材圆整度的一致性,在这个加工步骤中,也要加防氧化油,使整根棒材外表有油保护,防止氧化。”
说到这里,他又用笔指着另一个图标说道:“到了这一步,就必须在氩气环境内进行下一步了,因此,我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。
防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”
“等等,郭部长,清洗和烘干这两个步骤,光刻机、离子注入机和CVD机都要用到,而且你还忘了,回火这个步骤,单硅晶棒在切薄片的时候,因温度过高的原因会变形,因此需要回火。”
范学东毕竟是专业人士,比他们更了解整个制程工艺。
因此出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒!
范先生。”
郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。
“没什么,我们不是一起解决问题嘛!”
范学东摇着手,客气道。
“好!
既然是这样,那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体,只需要加一个温度调节就解决了。”
郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。
说完他又皱起了眉头,然后像自言自语地说道:“不过这样一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。
只不过很短吧了。”
“我想的也差不多,整套系统绝不简单,我们要把里里外外都考虑清楚了,再开始设计,尽量减少不必要的错误。”
卢汝成是在场地位最高的,还超过了他以前的顶头上司郭东,因此他没有顾虑的发表了自已的意见。
“嗯!
卢总说得不错,那我们休会一个小时,大家都思考思考。”
郭东作为主人,作了决定。
郭东说完,大家都找座位坐下。
每个人都在拼命地思考,在心里描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。
“咚咚”
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