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icp
和
tsv
设备在国内外生产线实现量产。
其出色的刻蚀精度、稳定性和生产效率，使其在全球半导体刻蚀设备市场中占据了重要地位。
cvd
设备方面，中微公司在高端照明和显示市场取得了显着成绩，开发的
cvd
设备在国内外已占据超
70%
的市场份额
。
公司不断对
cvd
设备进行技术升级和创新，推出了一系列高性能的产品，如
pris
unimax?
等，满足了市场对高品质
led
外延片和
micro
-
led
的生产需求。
在薄膜沉积设备领域，中微公司同样成果丰硕。
公司推出了多款新产品，如
preforma
uniflex?
cw、preforma
uniflex?
hw、
preforma
uniflex?
aw
等，涵盖了多种薄膜沉积工艺。
新开发的
lpcvd
薄膜设备和
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