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自动机械臂上安装有真空吸盘，盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。
整个输送过程，都不需要直接接触芯片，未封装的芯片是非常脆弱的，稍有不注意，就会造成机械损伤，甚至是报废。
另外，他们这套设备效率非常高，是完全的自动化，不需要人工参与，因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。
整个厂房几乎是密封的，没有人员进入，灰尘当然就少了。
物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部，也传来了喜讯。
他们终于研制出了正式的离子注入机设备。
能给沈丹青报来喜讯，当然已经是非常成熟的设备了。
他们还算是运气好，幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器，这两样科研设备。
否则如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。
他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。
到了此时，就只剩自动检测程序没有完成了。
沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短时间所能解决。
于是他做出了一个决定，让这套芯片生产设备开始试制芯片，有什么问题尽量在生产中发现。
用财力促进加速芯片技术的发展。
前期的问题肯定很多，这些都是自动检测程序的宝贵的资料。
没有自动检测程序，需要人工检测，芯片生产速度当然非常慢。
就像木桶理论所说的一样，整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。
不过沈丹青不会在意，对长胜投资集团来说，能用钱解决的问题都不是问题。
用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常高，达到了53%，不合格的芯片，不是工艺问题，而是化学蚀刻的原因。
他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了，还缺少许多先进技术。
他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。
化学蚀刻就是用化学药剂，溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。
如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。
也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。
他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，没有经验，以为只是一个纯粹的化学反应。
造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元芯片的时候，人们就是使用这种技术。
到如今当然已经不适用了。
得到了化学蚀刻出现问题之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。
说实话，他们是第一次见到这个问题。
用化学方法蚀刻这么微小的图形，本来就很神奇。
现在却说这种方法不行，要另想办法。
这可真的难住他们了，他们一时也没有了好办法。
最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过，蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。
因此对他们说：“试试干法蚀刻，或许要好许多。”
“老板，什么是干法蚀刻？你能祥细的告诉我们吗？”
化学研究所的所长王波就站出来问他。
没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢？
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