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这下我明白了。”
郭东边说边点头,好像已经完全明白了的样子。
只要使用第一代液晶技术当然很简单,况且他们需要的比第一代技术更简单,因此没有什么难度。
他们唯一要解决的是沟槽的精度,使像素点更细密。
不过相对于拥有纳米级加工工艺技术的长胜精工来说,就太简单了。
因为沟槽再怎么精密,也只有U米级,这是液晶化合物分子的大小所决定的。
当第一块液晶屏试制出来,在了解了技术细节之后,郭东就感叹说:“看来这项技术的缺点也很明显,它只能达到U米级精度,我们算是白忙活了。”
“也不能这么说,其实日常生活中,低级别的芯片用的是最多的,比如普通的小家电所用的芯片以及普通的工控芯片。
我们能减少低级别芯片的工序也是了不得的进步。”
这时,权威专家洪涛就站出来给大家打气了。
“唉!
好吧!
我们先试试吧!
还不知道能不能代替激光刻蚀呢?”
郭东又发感慨了,真是一个多愁善感的人。
要试很简单,因为不是硅晶圆因此无须无氧环境,只要一间暗室就可以了。
暗室也不是真的暗,黄光还是可以的。
他们实验了一下,情况还好,只要掩模板与液晶屏隔得足够近,大概几纳米的样子,光的漫散现象还是不严重。
也就是说用液晶屏代替激光蚀刻掩模板获得了成功,虽然只能用在低制程芯片技术上,但是因为图形转移快捷,可以说是非常有用的一项技术了。
接下来就是真正研制光刻机了。
由于一些技术难点郭东他们还是长胜精工技术部的时候就早已解决了,因此他们直接进入了设计环节。
为了最大程度的提高效率和减少氩气用量,郭东要技术员将工作台里面的活动机构的最大行程设置为5毫米。
也就是说从最上面的激光到最下面的基片面只有5毫米,这个5毫米中间还有一个有缺口的托架,托架是放掩模板的平台,它只能上下移动。
而那个缺口就是为微型机械臂输送掩模板用的。
掩模板至少得有一毫米厚,托架也至少得有二毫米厚,加上微型机械臂占去了一点点厚度,也就是说在输送掩模板的过程中,与上面的激光头和下面的基片上下相差不到一毫米了,玩的就是这么精密。
当然硅晶圆基片,它是最后才放进来的,而且微型机械臂是从下面输送进来的,不占用这5毫米的工作空间。
硅晶圆基片台是真正的固定,它不需要移动。
唯一能上下左右移动的就是激光头。
激光头不止一个,而是一排。
就像刷卡一样,它只要刷一次就够了。
看起来很简单,其实他最难的是怎么控制掩模板与基片之间只相差几纳米,激光头与掩模板之间只相差几纳米。
就是这一个难点就难住了许公司,这需要纳米级加工工艺才能做到。
而恰好长胜投资集团就能做到,道理就是这么简单。
掩模板不止一块,而是有许多块。
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