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第129章 开启光刻之路(第1页)

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1985年,阳光暖暖地洒在首都燕京的大地上,微风轻拂,带着一丝希望与未知的气息。

机械厂vcd的研发并出口海外获得成功,研发的资金已有,贾东旭每天都在思考如何利用系统的奖励,为国家和社会做出一番大事业。

在那个电子产业飞速发展的时代,半导体技术成为了各国竞争的焦点,而光刻机作为半导体制造的核心设备,其重要性不言而喻。

贾东旭敏锐地意识到,利用系统奖励的技术提前研发中国光刻机,将是一个极具战略意义的计划,不仅能填补国内在这一领域的空白,还能让中国在半导体产业中占据一席之地。

“干!

就搞光刻机!”

贾东旭在心中暗暗下定决心。

一、技术路线选择

要研发光刻机,首先面临的就是技术路线的选择。

在当时,光刻技术主要有接触式光刻和步进式光刻两种,接触式光刻技术相对简单,但精度较低,已经逐渐无法满足半导体产业不断提高的精度需求;而步进式光刻技术则代表着未来的发展方向,虽然技术难度大,但分辨率更高,能够满足大规模集成电路制造的要求。

贾东旭看着系统提供的技术资料,心中有了明确的目标:跳过接触式光刻,直接研发步进式光刻机(stepper)。

这个决定在当时看来是相当大胆的,毕竟国内在光刻技术方面的研究还处于起步阶段,直接挑战高难度的步进式光刻技术,无疑是一场艰难的冒险。

但贾东旭相信,凭借系统提供的先进技术和自己的努力,一定能够克服重重困难。

1.

技术定位

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目标:跳过接触式光刻,直接研发步进式光刻机(stepper);

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技术参数:

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分辨率:1.5μm(同期日本尼康为1.2μm);

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产能:60片小时(8英寸晶圆);

-

光源:汞灯g线(436nm)。

确定了目标后,贾东旭开始仔细研究各项技术参数。

分辨率1.5μm,虽然比不上同期日本尼康的1.2μm,但在国内已经是一个巨大的突破,而且随着技术的不断发展,还有很大的提升空间;产能60片小时,对于初步研发的光刻机来说,也算是一个比较可观的数字;光源选择汞灯g线,这是当时比较成熟的光刻光源,技术相对稳定,能够满足现阶段的研发需求。

“这些参数虽然不是最顶尖的,但对于我们来说,已经是一个很好的起点了。”

贾东旭自言自语道,眼神中透露出坚定的信念。

2.

系统技术包

有了明确的技术定位,接下来就是如何实现这些目标。

幸运的是,系统为贾东旭提供了一系列强大的技术包,涵盖了光学系统、机械系统和控制系统等光刻机的核心部件。

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