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第338章 euv光刻机研发先奖5000万邓小岩感动了(第2页)

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提高精度的核心是光源。

当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。

“是!”

谢武激动坏了。

深紫外光?

他听过,却没有相关研究。

以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!

“陈总,这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?

莫非……

谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。

任人唯亲?

“光刻机第二轮研发,包括两个方面。”

陈皓正色道:“一是以谢校长为首,对浸润式光刻机技术,进行深度研发、提升。”

短时间不可能达到极致的7纳米。

需要循序渐进。

70纳米提高到45纳米……

45纳米提高到32纳米……

如此缓步递进,可能只要两三个月,就能出一次新成果。

“二是杜总师、顾总师,组建一支新的研发团队,进行EUV光刻机研发!”

陈皓沉声道。

两步走计划。

提升光源技术,对已有浸润式光刻机,进一步挖掘潜力。

难度小很多,短时间能出成果。

另一边。

进行全新的光刻机研发!

需时较长。

“EUV光刻机?”

顾经纶茫然。

没听过!

“极紫外式光刻机。”

陈皓沉声道:“生产7纳米及以下芯片,最高精度达到1纳米。”

什么?!

所有人都傻愣着一动不动。

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