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“在这个其中光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤”
“它耗时长、成本高”
“半导体芯片生产的难点和关键点在于如何在硅片上制作出目标电路图样”
“这一过程通过光刻来实现，光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平”
“一般芯片在生产中需要进行
20-30
次的光刻”
“耗时占到
ic
生产环节的
50%左右，占芯片生产成本的13”
“我们研究在诸如硅片的基底表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶”
“再用特定光一般来说都是紫外光、深紫外光、极紫外光等”
“然后再透过包含目标图案信息的掩模版照射在基底表面”
“当被光线照射到的光刻胶会发生反应”
“因此，在显影后被照到的区域会产生与未被照到的区域不同的效果”
“当然这个也是具体情况主要依赖于光刻胶的性能来说的”
“张成同志能不能够给我们介绍一下光刻胶?”
“当然可以”
“介绍光刻机就离不开光刻胶的介绍”
“那太好了”
“张成同志你是不知道”
“我们这帮人在当年美国提出研究光刻机的时候我们就上报说是我们也研究光刻机”
“可惜因为时局震荡，外加我们国家实在是太穷了”
“就这样一直拖着”
“我们也是想尽一切办法的搞到外国的关于光刻机的消息”
“可惜一直以来未能如愿”
“当年我们的核潜艇还能够从美国的百货商场带回来一个玩具潜艇作为研究对象呢”
“但是光刻机是真的没有”
“我们一直以来都是无头苍蝇一样”
“我们只知道它的大致原理”
“具体的美国人对于我们封锁的太厉害了”
“一点信息都没有的”
“没想到柳暗花明又一村啊！”
“苦苦追寻的外国技术没有偷学到”
“自家院子里已经成功了，并且还比外面的还要先进”
“梦里寻她千百度蓦然回首那人却在灯火阑珊处啊！”
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