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李颜笑道,“交流而已,请讲。”
“这台是浸润式duv?”
“是。”
“你所说的自己设计的光刻机,也是浸润式?”
“是,附带成本更高昂一点的浸润系统,优化要等后续,并且大概需要一段时间的测试。”
“你意思是,你没有进行测试?”
“我都没做出来,没法测试。
手里只有这台东西,而且纯水什么的,我这边也不好搞,华芯国际有现成的,我才说让你们测试。”
梁总眉头紧紧皱起,“那你怎么,就觉得自己的想法可行?”
“我在脑子里跟电脑里都模拟过了,妥。
虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了,考虑到当前华夏的工业生产水平,相比起光刻机,我目前为了先做出来的方案一,更像是‘光刻房’。
浸润系统的成本不是量产级别,我还需要根据实际生产的情况进行优化。”
……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:
“分辨率跟套刻精度呢?”
无一错一一一内一容一在一6一9一书一吧一看!
“跟阿斯玛的一样,193的波长,arFi光刻机,分辨率38nm,得益于浸润式的提升,最小制程7nm。”
梁总心里一边听一边狂喊“不可能”
,喊得筋疲力尽。
李颜突然一拍脑袋,补充道,“当然,目前套刻精度受制于制作工艺精度,实际用起来,想要通过多重曝光达到7nm制程,良品率应该不太妙。
只能算是理论上没问题,实际应用的话,应该还是制程28nm的芯片为主。”
“你说的要都是真的,你就是华夏这个行业的救世主。”
范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来,“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶!
不可思议!”
梁总继续问,“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作,你竟然能用手拆了之后复原,并且不影响他们的精度?”
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